株式会社イーエッチシーが取り扱う各種製品をご覧ください。

インドHolmarc社製スピンコーター、モデル: HO-TH-05 は、

研究室で小型基板をスピンコーティングするための専用卓上システムで、

スピンプロセスパラメータが適切に制御されています。

高速で持続時間範囲が広いため、ユーザーはフィルムの希望の厚さまたは薄さを実現できます。

スピンヘッドアクチュエータは高精度の DC サーボモーターで、

メンテナンスが少なく、正確な回転速度と加速度制御が可能です。

オイルレス真空ポンプで駆動する真空チャックが、基板をスピンヘッドに吸着保持します。

●装置仕様

・操作パネル部  ：24 x 4 行の英数字 モノクロLCD と 16 ボタンのキーボード

・回転モーター   ：ブラシレスＤＣサーボモーター

・制御メモリー    ：９ステップ、９プリセット（不揮発性メモリー）

・速度設定        ：回転数、加速度、減速度

・回転数範囲     ：60～9999rpm

・回転数分解能  ：1rpm

・回転数精度     ：±1rpm以内

・加速・減速度   ：10～2000rpm/sec

・保持時間        ：1～99秒又は分、時で設定可（各ステップ）

・標準試料台     ：３種類付属　(25 mm角, 32 mm角 & 45 mm角用)

・最大基板寸法  ：直径100mm　厚み2.0mmまで

・最小基板寸法  ：直径13mm

・カップ材質       ：ポリプロピレン（PP）

・カップ内径       ：162mm

・排液ドレン       ：ホース接続口外径6ｍｍ

・インターロック  ：蓋が開いている時は、回転が開始しません

・試料台材質     ：PTFEとシリコンゴムＯリング（黒）

・試料保持方式  ：真空ポンプによる吸着固定

・真空接続口     ：外径8mmワンタッチチューブ接続

・パージガス口   ：外径8mmワンタッチチューブ接続

・真空破壊        ：背面側に真空破壊ボタンあり

・装置サイズ      ：400 (L) x 275 (W) x 350 (H)mm　重量32kg（真空ポンプを除く）

・電源入力        ：AC100　又は　230V　50/60Hz　１口

・電力消費量     ：260W　（真空ポンプを含む）

・真空ポンプ      ：排気量45L/min,　最大真空度　約-90KPa　（本体とスイッチ連動）